Modélisation d’une décharge plasma d’argon dans un magnétron lors d’une élaboration d’une couche mince

Abstract

L’objectif de ce travail est de développer un modèle numérique capable de décrire le comportement qualitatif d’une décharge magnétron à courant continu par l’utilisation d’une configuration géométrique bidimensionnelle. Cet étude constitue une contribution à la compréhension de la dynamique et de taux de production des espèces chargées à l’intérieur de l’enceinte, et permet de mettre en évidence les différents mécanismes physique et électrique gouvernant ce type de décharge. Le code numérique 2D élaboré dans le cadre de ce travail est basé sur la résolution d’un système d’équation auto cohérent formé par les équations du modèle fluide (les trois premiers moments de l’équation de Boltzmann) couplées avec l’équation de Poisson. Les résultats obtenus nous permettent de déterminer les caractéristiques du plasma d’argon (densité des électrons, du champ et potentiel électriques, température des électrons,..) ainsi que les profils de densité de flux et potentiel magnétique au sein du réacteur.