"CONCEPTION ET SIMULATION D'UN CAPTEUR DE PRESSION CAPACITIF EN TECHNOLOGIE MEMS"

Abstract

"Les technologies microsystèmes conjuguent les techniques de pointes de la microélectronique des semi-conducteurs et des nouvelles techniques du micro usinage permettant ainsi la réalisation des systèmes entiers sur une puce. En plus, cette intégration permettra de miniaturiser le système, d’améliorer ses performances et d’augmenter la sensibilité. L’objectif de ce mémoire est l'étude , la conception et la simulation d’un capteur de pression en technologie MEMS, sous environnement COMSOL Multiphysics 5.2, tenant compte de l’intégralité de la structure du capteur de pression capacitif à membrane de forme carrée en technologie Silicium/Pyrex. Les résultats de simulation ont montré que la sensibilité à la température est indépendante de l’épaisseur du substrat mais qu’elle dépend de l’épaisseur de la membrane, de l’épaisseur de la cavité et de la forme de l’encastrement."