Etude de la pulvérisation de l’aluminium induite par un faisceau d’ions

Abstract

Le présent travail s’intéresse à l’étude théorique de la pulvérisation cathodique d’une cible d’aluminium induite par un faisceau d’ions d’argon. La modélisation de la pulvérisation des ions a été effectuée en utilisant trois différentes approches : une approche analytique basée sur la théorie de transport de Sigmund, une approche semi-empirique basée sur l’ajustement des résultats expérimentaux par des modèles théoriques et une approche numérique basée sur la méthode de simulation Monté Carlo. Dans l’approche numérique, le code SRIM a été utilisé pour l’étude de l’influence de certains paramètres sur le rendement de pulvérisation. L’ensemble des résultats obtenus par ce code a été interprété et comparé aux résultats expérimentaux et à ceux déduites par des modèles théoriques ou semi-empiriques.